在航空航天、半導(dǎo)體、新能源、醫(yī)療設(shè)備等高精尖領(lǐng)域，密封性是決定產(chǎn)品性能與安全的核心指標(biāo)。無論是航天器的燃料艙、芯片的真空封裝，還是冷鏈儲(chǔ)存，任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致災(zāi)難性后果。在這一背景下，全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀憑借其超高靈敏度、自動(dòng)化檢測(cè)與數(shù)據(jù)可追溯性，成為工業(yè)密封性檢測(cè)領(lǐng)域的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”，為制造筑起一道無形的質(zhì)量防線。
傳統(tǒng)密封性檢測(cè)多依賴“氣泡法”“壓力衰減法”等粗放手段，檢測(cè)精度低（僅能發(fā)現(xiàn)10?³Pa·m³/s量級(jí)泄漏），且無法定位泄漏點(diǎn)。而氦質(zhì)譜檢漏儀以氦氣為示蹤氣體，通過質(zhì)譜分析技術(shù)，可檢測(cè)至10?¹²Pa·m³/s的微小泄漏——相當(dāng)于一個(gè)針孔在100年內(nèi)泄漏1立方厘米氣體，靈敏度較傳統(tǒng)方法提升百萬倍。
全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀的突破在于“自動(dòng)化”與“智能化”。設(shè)備集成真空系統(tǒng)、氦氣回收模塊、機(jī)械臂與AI算法，可實(shí)現(xiàn)“抽真空—注氦—檢測(cè)—定位—報(bào)告”全流程無人化操作。例如，在鋰電池生產(chǎn)線中，全自動(dòng)檢漏儀每小時(shí)可檢測(cè)200個(gè)電芯，自動(dòng)識(shí)別微孔、裂紋等缺陷，并將數(shù)據(jù)上傳至MES系統(tǒng)，不良品攔截率達(dá)100%，杜絕了因密封失效導(dǎo)致的電池起火風(fēng)險(xiǎn)。 氦質(zhì)譜檢漏儀曾因高昂成本僅限于實(shí)驗(yàn)室使用，隨著技術(shù)成熟與國產(chǎn)化替代，其應(yīng)用場(chǎng)景已拓展至工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)。在航空航天領(lǐng)域，它用于火箭發(fā)動(dòng)機(jī)燃料管路、衛(wèi)星密封艙的檢測(cè)，確保環(huán)境下的零泄漏；在半導(dǎo)體行業(yè)，光刻機(jī)真空腔體、晶圓封裝的泄漏控制需達(dá)到10??Pa·m³/s，氦質(zhì)譜檢漏儀成為“卡脖子”設(shè)備的核心保障。
新能源與醫(yī)療領(lǐng)域的需求增長尤為顯著。光伏組件的EVA膠膜封裝、氫燃料電池的雙極板焊接，都依賴氦質(zhì)譜檢漏儀防止水汽侵入；而在心臟起搏器、人工關(guān)節(jié)等植入式醫(yī)療器械中，設(shè)備需通過ISO 13485認(rèn)證，氦質(zhì)譜檢漏儀提供的可追溯數(shù)據(jù)，成為產(chǎn)品進(jìn)入國際市場(chǎng)的“通行證”。
